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残留ガス分析

残留ガス分析

定常的、高速、広ダイナミックレンジの残留ガス分析

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RGAシリーズ

すべてのHIDEN ANALYTICAL社 残留ガス分析計は、アプリケーションテストと校正を行い、最高品質の性能を提供しております。
質量範囲 50,100,200,300,510amu
最小検出濃度(HAL) 5×10 -12 Pa
最小検出濃度(3F) 2×10 -12 Pa
最小検出濃度(3F-PIC) 2×10 -13 Pa
イオン源 電子衝撃イオン源(形状は数種類から選択可能)
イオン源制御 可能
電子放出(エミッションカレント) ソフトウェア可変1μA〜2mA
電子エネルギー ソフトウェア変数4V〜150eV
イオンエネルギー ソフトウェア変数0V〜10eV
検出器 ファラデーカップと二次電子増倍管(チャンネルトロン)
取付フランジ(HAL) DN-35-CF(ICF70)
取付フランジ(3F - トリプルフィルター) DN-63-CF(ICF114)
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