イノベーションサイエンス 〒213-0033 川崎市高津区下作延4-10-10

TEL:044-982-3152

FAX:044-982-3153

お問い合わせ

MENU

PRODUCT 製品案内

※製品の詳細についはカタログをご用意しております。
お問い合わせフォームよりお申込み下さい。

表面分析

モデルCompact SIMS

HIDEN ANALYTICAL社 モデルCompact SIMSは、層構造、表面汚染、不純物の迅速かつ容易なキャラクタリゼーションを目的として設計されており、正イオンの敏感な検出が酸素プライマリーイオンビームによって補助され、周期表全体にわたって同位体感度を提供します。提供するイオンソースの形状は、ナノメートルの深さ分解能および表面近傍分析に理想的です。
質量範囲 50,300,510amu
最小検出濃度 ppm
サンプル表面から放出されるイオンの分析 正イオンのみ(負イオン測定はオプション)
SNMS - セカンダリニュートラルマススペクトロメトリー はい - オプション
深さ分解能 3nm
最小検出濃度 - Si中のホウ素 1E 17 atom *cm -3
最小検出濃度 - SNMS 1%
UHVマルチポートチャンバ いいえ、拡張不可
サンプルステージおよび移動 マニュアル回転式
詳細へ

ページ上部へ