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神奈川県川崎市高津区坂戸3-2-1 KSP東棟210

モデルHPR-30は、真空プロセスおよび真空診断のガスおよび蒸気の分析用に構成された残留ガス分析計です。このシステムは、CVD、プラズマエッチング、MOCVD、プロセスガス純度、およびプロセス中の汚染物質モニタリングなどの個々のプロセスアプリケーションに対して構成可能です。

モデル EQPシステムは、分析用のプラズマイオン、中性粒子およびラジカルのための質量分析計とエネルギー分析器を組み合わせたものです。EQP機器は、正イオンおよび負イオン分析のための操作モードを含む。閾値電離および電子付着イオン化モードは、電気陽性および陰性プラズマラジカルの両方の分析のための詳細な中性ラジカル研究に利用可能です。
モデルEQPシステムは、オプションで、50ナノ秒までの時間分解能を備えた統合型MCS - マルチチャネルスカラーデータ収集で利用可能になり、パルスプラズマアプリケーションでの高速データ収集が可能になりました。

Hidenプラズマプローブは、重要なプラズマパラメータのいくつかを測定し、プラズマ反応化学に関する詳細な情報を提供する。