モデルHPR-30
モデルHPR-30は、真空プロセスおよび真空診断のガスおよび蒸気の分析用に構成された残留ガス分析計です。このシステムは、CVD、プラズマエッチング、MOCVD、プロセスガス純度、およびプロセス中の汚染物質モニタリングなどの個々のプロセスアプリケーションに対して構成可能です。さらに、大気圧近傍まで測定できるオプションもそろえております。
質量範囲 |
200、300、または510 m/z |
真空プロセスガス組成の測定 |
可能 |
汚染の測定とリーク検出 |
可能 |
最小検出濃度 |
5 PPB |
サンプルインレット圧力(標準) |
0.1 〜500Pa |
サンプルインレット圧力(オプション) |
<1E -2 Pa or 大気圧 |
高速測定速度 |
最大500回/秒の測定 |
モデル EQP
モデル EQPシステムは、分析用のプラズマイオン、中性粒子およびラジカルのための質量分析計とエネルギー分析器を組み合わせたものです。EQP機器は、正イオンおよび負イオン分析のための操作モードを含む。閾値電離および電子付着イオン化モードは、電気陽性および陰性プラズマラジカルの両方の分析のための詳細な中性ラジカル研究に利用可能です。
モデルEQPシステムは、オプションで、50ナノ秒までの時間分解能を備えた統合型MCS - マルチチャネルスカラーデータ収集で利用可能になり、パルスプラズマアプリケーションでの高速データ収集が可能になりました。
質量範囲 |
300、510、1000 または 2500m/z |
イオン分析 |
正負イオン |
ガス分析 |
中性粒子とラジカル |
プラズマ圧力(標準) |
最大0.5mbar |
プラズマ圧力(オプション) |
最大2mbar、100mbarおよび大気圧 |
サンプリングオプション |
DCおよびRFバイアスされたサンプリング電極 |
イオンエネルギー解析範囲 |
±100eV または ±1000eV |
モデルPSM
HIDEN ANALYTICAL社 プラズマプローブ モデルPSMは、重要なプラズマパラメータを測定し、プラズマ反応化学に関する詳細な情報を取得可能です。
質量範囲 |
300または510 m/z |
イオン分析 |
正イオン |
イオン分析 - オプション |
負イオン |
ニュートラル分析 |
中立および中性ラジカル分析 |
プラズマ圧力 |
最大0.5mbar |
エネルギー解析範囲 |
100eV |