モデルCompact SIMS
HIDEN ANALYTICAL社 モデルCompact SIMSは、層構造、表面汚染、不純物の迅速かつ容易なキャラクタリゼーションを目的として設計されており、正イオンの敏感な検出が酸素プライマリーイオンビームによって補助され、周期表全体にわたって同位体感度を提供します。提供するイオンソースの形状は、ナノメートルの深さ分解能および表面近傍分析に理想的です。
| 質量範囲 | 50,300,510amu |
|---|---|
| 最小検出濃度 | ppm |
| サンプル表面から放出されるイオンの分析 | 正イオンのみ（負イオン測定はオプション） |
| SNMS - セカンダリニュートラルマススペクトロメトリー | はい - オプション |
| 深さ分解能 | 3nm |
| 最小検出濃度 - Si中のホウ素 | 1E 17 atom *cm -3 |
| 最小検出濃度 - SNMS | 1％ |
| UHVマルチポートチャンバ | いいえ、拡張不可 |
| サンプルステージおよび移動 | マニュアル回転式 |
